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製造現場の微振動計測と振動レベル判定

Vibration Measurement and Criterion on the Manufacturing Floor

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カテゴリホットトピックス
カテゴリ(英)Hot Topics

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著者1) 岡本 弘志
著者(英)1) Hiroshi Okamoto
勤務先1) セイコーエプソン
抄録製造現場には多くの振動が存在する。設置されている機器に振動が伝播した場合、所望の性能を発揮できなくなる。精度高い生産や検査を実現するには、製造現場の微振動を正確に把握しておくことが必要となる。本稿では、製造現場の微振動の計測と対策として、①微振動の計測技術、及び②微振動の規格化の事例を紹介する。
抄録(英)The floor vibration causes the degradation of performance for vibration-sensitive instruments.Recently, the increase of high accuracy process in manufacturing, the number of floor vibration issue is increasing.To solve and isolate the floor vibration issue, acceleration measurement is effective.In addition, the vibration criterion (VC) curves are commonly used to isolate the vibration issue of manufacturing facilities and instruments. This article shows the vibration criteria for floor vibrations with accelerometers.

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